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NIST溯源尺度標準,用于需要高度視覺反差的尺度標和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會的建立的SSIS標指導準則, 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍, 覆蓋了半導體技術(shù)藍圖(ITRS)所義的關(guān)鍵質(zhì)控點。
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